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A.A. Goryachev
Institute of Microelectronics of Russian Academy of Sciences, Universitetskaya 21, 150000 Yaroslavl, Russia
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Articles
PLASMA STIMULATED GROWTH OF THIN FILMS
Vol. 1 '1999
-
Progress in Plasma Processing of Materials, 1999
STUDY OF LOW TEMPERATURE PLASMA-STIMULATED GROWTH OF YSZ THIN FILMS ON Si SUBSTRATE
Vol. 1 '1999
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Progress in Plasma Processing of Materials, 1999
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