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B. Bocquet
Institut d'Electronique, Microelectronique et Nanoelectronique UMR 8520, Universite des Sciences et Technologies de Lille, 59655 VILLENEUVE D'ASCQ Cedex -France
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IN SITU LASER ASSISTED DIAGNOSTICS ON GROWTH RATE OF THICK PACVD ORGANOSILICON FILMS
Vol. 9 '2005
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High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes
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