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E. Katsia
Plasma Technology Lab, Dept. Chem. Engineering, University of Patras, P.O.Box 1407, 26500 Patra, Greece
Weitere Infos über den Autor erhalten Sie im Expertenverzeichnis
Articles
INFLUENCE OF NEGATIVE SUBSTRATE BIAS ON PLASMA PROPERTIES AND SILICON FILM DEPOSITION RATE
Vol. 11 '2007
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High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes
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