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C. H. Yi
Dept. of Materials Engineering, Sungkyunkwan University, 300 Chunchun-dong, Suwon, Kyunggi-do, 440-746 Korea
Weitere Infos über den Autor erhalten Sie im Expertenverzeichnis
Articles
THE STUDY OF ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA BY CAPILLARY DIELECTRIC COVERED ELECTRODE AND ITS APPLICATION TO PHOTORESIST ETCHING AND SURFACE CLEANING
Vol. 0 '2003
-
Progress in Plasma Processing of Materials, 2003
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