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Progress in Plasma Processing of Materials, 2001

ISBN:
1-56700-165-3 (Print)

NUMERICAL MODELING OF RF-RF HYBRID PLASMA TORCHES AND PARAMETRIC STUDY FOR VARIOUS GEOMETRIC, FLOW AND ELECTRIC CONFIGURATIONS

Davide Bernardi
Universita degli Studi di Bologna, Dipartimento di Ingegneria delle Costruzioni Meccaniche, Nucleari, Aeronautiche e di Metallurgia (D.I.E.M.) and C.I.R.A.M., Via Saragozza 8, 40123 Bologna, Italy

Vittorio Colombo
Università degli Studi di Bologna, Dipartimento di Ingegneria delle Costruzioni Meccaniche, Nucleari, Aeronautiche e di Metallurgia (D.I.E.M.) and C.I.R.A.M., Via Saragozza 8, 40123 Bologna, Italy

Gianni G.M. Coppa
Istituto Nazionale per la Fisica della Materia and Dipartimento di Energetica, Politecnico di Torino, Corso Duca degli Abruzzi 24, 10129 Torino, Italy

Emanuele Ghedini
Università degli Studi di Bologna, Dipartimento di Ingegneria delle Costruzioni Meccaniche, Nucleari, Aeronautiche e di Metallurgia (D.I.E.M.) and C.I.R.A.M., Via Saragozza 8, 40123 Bologna

Andrea Mentrelli
Universita degli Studi di Bologna, Dipartimento di Ingegneria delle Costruzioni Meccaniche, Nucleari, Aeronautiche e di Metallurgia (D.I.E.M.) and C.I.R.A.M., Via Saragozza 8, 40123 Bologna, Italy

Abstract

Two-dimensional (r, z) numerical codes have been developed in order to study RF-RF hybrid plasma torches, both in static and time-dependent conditions. The codes account for the non-conventional configuration of the induction coil and for the presence of a secondary gas injected axially or radially at intermediate positions of the torch. Selected results are presented from a detailed parametric study for various geometric, flow and electric configurations.