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J. B. Belhaouari
Centre de Physique des Plasmas et de leurs Applications de Toulouse - ESA 5002 Université Paul Sabatier - 118 route de Narbonne - F31062 Toulouse Cedex 4 - France
Obtenga más información sobre el autor en el Directorio de Especialistas
Articles
TWO-TEMPERATURE PLASMA COMPOSITION IN SF
6
PLASMA : A KINETIC MODEL
Vol. 1 '1999
-
Progress in Plasma Processing of Materials, 1999
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