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James W. Rogers
Department of Mechanical and Industrial Engineering University of Illinois at Urbana-Champaign Urbana, IL 61801 U.S.A.
Obtenga más información sobre el autor en el Directorio de Especialistas
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Interferometric Imaging System for Measuring Out-of-Plane Deflection in MEMS Devices
Vol. 2 '2002
-
International Heat Transfer Conference 12
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