Auteurs, éditeurs et examinateurs de Begell House

M. Sorokin

Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology, P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, The Netherlands
En savoir plus sur l'auteur dans le répertoire de spécialistes

Articles

FLOW AND TEMPERATURE DEPENDENCE OF PARTICLE FORMATION IN AR-SILANE RF CAPACITIVELY COUPLED PLASMAS Vol. 9 '2005 - High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes