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M. Courbon
I.U.T. de Saint-Etienne - Laboratoire de Physique des Precedes sous Vide 28 avenue Leon Jouhaux - 42023 SAINT-ETIENNE Cedex 2
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Articles
OPTICAL MEASUREMENT OF INTRINSIC STRESS DURING DEPOSITION: APPLICATION TO THE DETERMINATION OF THE SUBSTRATE NATURE INFLUENCE ON STRESSES IN CHROMIUM FILMS
Vol. 2 '1998
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High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes
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