Begell Houseの著者、編集者及びレビュー者

R.J. Severens

Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, The Netherlands
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FAST DEPOSITION OF DEVICE QUALITY HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON BY AN EXPANDING THERMAL PLASMA Vol. 1 '1999 - Progress in Plasma Processing of Materials, 1999