Autores, editores e revisores da Begell House

J. Zuk

Maria Curie-Sklodowska University, Lublin, Poland

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LIGHT-EMITTING N-RICH SILICON NITRIDE FILMS DEPOSITED BY PLASMA-ENHANCED AND LOW-PRESSURE CVD Vol. 18 '2014 - High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes