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Progress in Plasma Processing of Materials 2001

ISBN 打印: 1-56700-165-3

Pierre Fauchais Laboratoire Sciences des Procedes Ceramiques et de Traitements de Surface UMR CNRS 6638 University of Limoges 123 avenue Albert Thomas, 87060 LIMOGES - France

With keynote papers by leading international specialists the Proceedings covers the following topics: diagnostics, ARS and RF plasma sources at equilibrium or nonequilibrium, modeling, thermodynamic and transport properties, coatings – thin films, plasma processes, metallurgycal, waste treatment.



867 pages, © 2001

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