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R. T. Galiaoutdinov
Scientific and Research Institute of Pumping Engineering Technology apart. 20, house 42, Gavrilova str., Kazan 420137, Russia
Weitere Infos über den Autor erhalten Sie im Expertenverzeichnis
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SYNTHESIS OF THIN FILMS WITH CONTROLLED ABSORPTION BY JET INDUCTIVE COUPLED RF PLASMA TORCH
Vol. 0 '2001
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Progress in Plasma Processing of Materials, 2001
DEPOSITION OF COATINGS BY A JET RF-PLASMA OF LOW PRESSURE
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Progress in Plasma Processing of Materials, 2003
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