Autoren, Herausgeber und Rezensenten von Begell House

M. Shaekhov

Kazan State Technological University, Light Industry Department
Weitere Infos über den Autor erhalten Sie im Expertenverzeichnis

Articles

INVESTIGATION OF SPATIAL CHARGE SHELL OF SPECIMEN IN INDUCTIVE COUPLED RF DISCHARGE AT LOW PRESSURE Vol. 0 '2001 - Progress in Plasma Processing of Materials, 2001