Auteurs, éditeurs et examinateurs de Begell House

V. Zhyvulka

Scientific and Practical Materials Research Center, National Academy of Sciences of Belarus, Minsk, Belarus
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LIGHT-EMITTING N-RICH SILICON NITRIDE FILMS DEPOSITED BY PLASMA-ENHANCED AND LOW-PRESSURE CVD Vol. 18 '2014 - High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes