Connexion utilisateur 0 Panier
Accueil Livres eBooks Revues spécialisées Références et comptes rendus Auteurs, éditeurs, examinateurs Index A-Z des produits
Progress in Plasma Processing of Materials, 1997

ISBN Imprimer: 1-56700-093-2

RECOMBINATION AND DIFFUSION IN AN INDUCTIVELY COUPLED ARGON PLASMA DURING POWER INTERRUPTION

Résumé

The temporal behavior of the electron density ne and temperature Te during the power interruption of an inductively coupled plasma (ICP) is measured. The simulation of ne as a function of time using a one-dimensional model including ambipolar diffusion and three particle recombination fits the measurements in the inner part (50% of the radius) of the plasma. However, for the measured fast ne−decay observed at the outer part of the plasma other processes must be reponsible.
Accueil Portail numérique Begell Bibliothèque numérique Begell Revues spécialisées Livres eBooks Références et comptes rendus Auteurs, éditeurs, examinateurs Index A-Z des produits Prix et politiques d'abonnement A propos de Begell House Contactez-nous Language English 中文 Русский 日本語 Português Deutsch Français Español