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Jiandong Meng
Corning Incorporated
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OPTIMIZATION OF THE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS FOR GALLIUM NITRIDE IN A VERTICAL ROTATING DISK REACTOR
Vol. 0 '2015
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Optimization of the Chemical Vapor Deposition Process for Gallium Nitride
Vol. 27 '2014
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International Heat Transfer Conference 15
Reliability-based optimization of Gallium Nitride Metalorganic Chemical Vapor Deposition process
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