Begell Houseの著者、編集者及びレビュー者

I. Cazard-Juvernat

Laboratoire de Génie des Precédés Plasmas, Université P.et M. Curie ENSCP, 11 rue P.et M. Curie, 75005 Paris - France
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DIAGNOSTIC OF FLOW FIELDS OF SILICON PARTICLES IN AN RF PLASMA FOR PURIFICATION TREATMENTS Vol. 1 '1997 - Progress in Plasma Processing of Materials, 1997