Begell Houseの著者、編集者及びレビュー者

I.Sh. Abdullin

Kazan State Technological University 68, K.Marks str. - Kazan 420015 - Russia
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SIMULATION OF THE TREATMENT OF SOLID SURFACES USING LOW PRESSURE RF PLASMA STREAM Vol. 1 '1999 - Progress in Plasma Processing of Materials, 1999