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Autores, editores e revisores da Begell House
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R. Girard

Centre de Physique des Plasmas et de leurs Applications de Toulouse - ESA 5002 Université Paul Sabatier - 118 route de Narbonne - F31062 Toulouse Cedex 4 - France
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TWO-TEMPERATURE PLASMA COMPOSITION IN SF6 PLASMA : A KINETIC MODEL Vol. 1 '1999 - Progress in Plasma Processing of Materials, 1999