Войти 0 Корзина покупок
Главная Книги е-Книги Журналы Справочники & Сборники Авторы, Редакторы, Рецензенты А - Я индекс
Progress in Plasma Processing of Materials, 1997

ISBN Print: 1-56700-093-2

RECOMBINATION AND DIFFUSION IN AN INDUCTIVELY COUPLED ARGON PLASMA DURING POWER INTERRUPTION

Аннотация

The temporal behavior of the electron density ne and temperature Te during the power interruption of an inductively coupled plasma (ICP) is measured. The simulation of ne as a function of time using a one-dimensional model including ambipolar diffusion and three particle recombination fits the measurements in the inner part (50% of the radius) of the plasma. However, for the measured fast ne−decay observed at the outer part of the plasma other processes must be reponsible.
Главная Begell Электронный Портал Begell Электронная библиотека Журналы Книги е-Книги Справочники & Сборники Авторы, Редакторы, Рецензенты А - Я индекс Цены и условия подписки О Begell House Контакты Language English 中文 Русский 日本語 Português Deutsch Français Español